250726 工业明珠灿若星河,光刻机国产化行则将至

阅读 34 格式 pdf 大小 4.93 MB 共33页2025-08-11 10:03:56发布于浙江
%%research.95579.com%%行业研究丨深度报告丨半导体与半导体生产设备[半Ta导b体le_基T石itle系]列之四:工业明珠灿若星河,光刻机国产化行则将至%%1%%%%research.95579.com%%丨证券研究报告丨报告要点[作Ta为bl半e_导Su体m行m业ar的y]皇冠,光刻机具备极为复杂的零部件构造用以达到超精细的精度,数十年的研发历程即围绕光源波长、数值孔径以及工艺因子不断优化光刻机的分辨率,至今发展至EUV光刻机。在这一历程中,光刻机行业的格局大体分为三个时代,每一时代的变迁都起源于光刻机龙头在关键的技术节点上实现跨越性突破,由此尼康、ASML等公司完成对竞争对手的超越。通过对光刻机关键技术、关键工艺环节的分析以及对光刻机行业格局的复盘,我国光刻机产业或可充分发挥后发优势,集中力量攻克核心环节,最终实现...

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